أداة تستخدم فى التحليل الكيميائى الدقيق للمواد.

(انظر:مسبار دقيق) - microprobe)

جهاز للفحص غير المتلف للمواد يعمل بالأشعة السينية، تعجل فيه الإلكترونات المنبعثة من فتيل ساخن في مجال إلكتروستاتي ثم تركز على بقعة صغيرة جدًّا من سطح العينة المراد فحصها بالاستعانة بعدسة كهرومغناطيسية، وتدرس الإلكترونات المرتدة من العينة أو الأشعة السينية المنبعثة منها أو أية ظاهرة أخري.